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簡單介紹

用于硅片邊緣LTO的腐蝕去除，以便外延片的生長。

產品描述

產品規格：

1、適用范圍：8寸/12寸硅片
2、產能：批次腐蝕，每批次25片，產能依據腐蝕厚度
3、搬運方式：PFA cassette/手動

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